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淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

更新時(shí)間: 2024-06-28   點(diǎn)擊次數: 101次

摘要:根據上海市某半導體制造工廠(chǎng)2015年1月1日至2017年12月31日動(dòng)力機房?jì)壤渌畽C組的實(shí)測滿(mǎn)載率和全年逐日負荷中與室外氣象條件相關(guān)部分,推導負荷和室外空氣比焓的關(guān)聯(lián)度,并依據4個(gè)生產(chǎn)半導體的重點(diǎn)城市的典型氣象(設計典型)年逐時(shí)參數報表總結了建造地點(diǎn)對能耗的影響,提出了未來(lái)半導體工廠(chǎng)的節能方向。

關(guān)鍵詞:半導體工廠(chǎng);負荷;能源消耗;氣象數據;比焓分析

0引言

隨著(zhù)半導體制造技術(shù)越來(lái)越進(jìn)步,以及制造裝置和配套設備大型化的趨勢,潔凈室結構和面積也越來(lái)越大,半導體工廠(chǎng)的能源消耗日趨增大。精細分析工廠(chǎng)的能源消耗組成及不同條件下建廠(chǎng)對運行費用的影響顯得十分重要。本文以上海市某半導體制造工廠(chǎng)機房改造項目為例,整理半導體廠(chǎng)房能耗規律并形成報告,進(jìn)一步演算不同建造地點(diǎn)對半導體廠(chǎng)房能耗影響的關(guān)聯(lián)度,為公司經(jīng)營(yíng)活動(dòng)提供數據支持。

1.Acrel-EIOT能源物聯(lián)網(wǎng)云平臺

(1)概述

Acrel-EIoT能源物聯(lián)網(wǎng)開(kāi)放平臺是一套基于物聯(lián)網(wǎng)數據中臺,建立統一的上下行數據標準,為互聯(lián)網(wǎng)用戶(hù)提供能源物聯(lián)網(wǎng)數據服務(wù)的平臺。用戶(hù)僅需購買(mǎi)安科瑞物聯(lián)網(wǎng)傳感器,選配網(wǎng)關(guān),自行安裝后掃碼即可使用手機和電腦得到所需的行業(yè)數據服務(wù)。

該平臺提供數據駕駛艙、電氣安全監測、電能質(zhì)量分析、用電管理、預付費管理、充電樁管理、智能照明管理、異常事件報警和記錄、運維管理等功能,并支持多平臺、多語(yǔ)言、多終端數據訪(fǎng)問(wèn)。

(2)應用場(chǎng)所

本平臺適用于公寓出租戶(hù)、連鎖小超市、小型工廠(chǎng)、樓管系統集成商、小型物業(yè)、智慧城市、變配電站、建筑樓宇、通信基站、工業(yè)能耗、智能燈塔、電力運維等領(lǐng)域。

(3)平臺結構

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

(4)平臺功能

◆電力集抄

電力集抄模塊可以實(shí)現對各種監測數據的查詢(xún)、分析、預警及綜合展示,以保證配電室的環(huán)境友好。在智能化方面實(shí)現供配電監控系統的遙測'、遙信、遙控控制,對系統進(jìn)行綜合檢測和統一管理;在數據資源管理方面,可以顯示或查詢(xún)供配電室內各設備運行(包括歷史和實(shí)時(shí)參數,并根據實(shí)際情況進(jìn)行日報、月報和年報查詢(xún)或打印,提高工作效率,節約人力資源。

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

變壓器監控

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

配電圖

◆能耗分析

能耗分析模塊采用自動(dòng)化、信息化技術(shù),實(shí)現從能源數據采集、過(guò)程監控、能源介質(zhì)消耗分析、能耗管理等全過(guò)程的自動(dòng)化、科學(xué)化管理,使能源管理、能源生產(chǎn)以及使用的全過(guò)程有機結合起來(lái),運用數據處理與分析技術(shù),進(jìn)行離線(xiàn)生產(chǎn)分析與管理,實(shí)現全廠(chǎng)能源系統的統一調度,優(yōu)化能源介質(zhì)平衡、有效利用能源,提高能源質(zhì)量、降低能源消耗,達到節能降耗和提升整體能源管理水平的目的。

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

能耗概況

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

◆預付費管理

1)登陸管理:管理操作員賬戶(hù)及權限分配,查看系統日志等功能;

2)系統配置:對建筑、通訊管理機、儀表及默認參數進(jìn)行配置;

3)用戶(hù)管理:對商鋪用戶(hù)執行開(kāi)戶(hù)、銷(xiāo)戶(hù)、遠程分合閘、批量操作及記錄查詢(xún)等操作;

4)售電管理:對已開(kāi)戶(hù)的表進(jìn)行遠程售電、退電、沖正及記錄查詢(xún)等操作;

5)售水管理:對已開(kāi)戶(hù)的表進(jìn)行遠程售水、退水、記錄查詢(xún)等操作;

6)報表:提供售電、售水財務(wù)報表、用能報表、報警報表等查詢(xún),本系統所有的報表及記錄查詢(xún),都支持excel格式導出。

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

預付費看板

◆充電樁管理

通過(guò)物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),對接入系統的充電樁站點(diǎn)和各個(gè)充電樁進(jìn)行不間斷地數據采集和監控,同時(shí)對各類(lèi)故障如充電機過(guò)溫保護、充電機輸入輸出過(guò)壓、欠壓、絕緣檢測故障等一系列故障進(jìn)行預警。云平臺包含了充電收費和充電樁運營(yíng)的所有功能,包括城市級大屏、交易管理、財務(wù)管理、變壓器監控、運營(yíng)分析、基礎數據管理等功能。

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

充電樁看板

◆智能照明

智能照明通過(guò)物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)對安裝在城市各區域的室內照明、城市路燈等照明回路的用電狀態(tài)進(jìn)行不間斷地數據監測,也可以實(shí)現定時(shí)開(kāi)關(guān)策略配置及后臺遠程管理和移動(dòng)管理等,降低路燈設施的維護難度和成本,提升管理水平,并達到一定節能減掛的效果。

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

監控頁(yè)面

◆安全用電

安全用電采用剩余電流互感器、溫度傳感器、電氣火災探測器,對引發(fā)電氣火災的主要因素(導線(xiàn)溫度、電流和剩余電流)進(jìn)行不間斷的數據跟蹤與統計分析,并將發(fā)現的各種隱患信息及時(shí)推送給企業(yè)管理人員,指導企業(yè)實(shí)現一時(shí)間的排查和治理,達到消除潛在電氣火災安全隱患,實(shí)現“防患于未然"的目的。

◆智慧消防

通過(guò)云平臺進(jìn)行數據分析、挖掘和趨勢分析,幫助實(shí)現科學(xué)預警火災、網(wǎng)格化管理、落實(shí)多元責任監管等目標。針對“九小場(chǎng)所"和?;飞a(chǎn)企業(yè)無(wú)法有效監控的空白,適應于所有公建和民建,實(shí)現了無(wú)人化值守智慧消防,實(shí)現智慧消防“自動(dòng)化"、“智能化"、“系統化"、用電管理“精細化"的實(shí)際需求。

(2)系統硬件配置


分類(lèi)

產(chǎn)品型號

外觀(guān)

產(chǎn)品功能

無(wú)線(xiàn)測溫

ARTM-Pn

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

可監測電壓、電流、頻率、有功功率、無(wú)功功率、電能,可接收60個(gè)無(wú)線(xiàn)溫度傳感器溫度

ATC600

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

ATC600有2種工作模式:終端(-C)、中繼(-Z),可根據項目布局選擇配置??山邮?40個(gè)無(wú)線(xiàn)溫度傳感器溫度

光伏監控

AGF

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

光伏電池串開(kāi)路報警,可以配合組串電壓進(jìn)行綜合判斷;帶3路開(kāi)關(guān)量狀態(tài)監測,用于采集直流斷路器、防雷器等輸出空接點(diǎn)狀態(tài);一次電流采用穿孔方式接入,安裝方便,安全性高;測量元件采用霍爾傳感器,隔離測量大電流20A;電壓測量功能可測量母線(xiàn)電壓高DC1500V

電力監控

AEM96

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

三相電力參數測量、電壓和電流的相角、四象限電能計量、復費率、大需量、歷史電能統計、開(kāi)關(guān)量事件記錄、歷史極值記錄、31次分次諧波及總諧波含量分析、分相諧波及基波電參量(電壓、電流、功率)、開(kāi)關(guān)量、報警輸出

APM系列

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

全電量測量,四象限電能,復費率電能,儀表內部溫度測量,總有功、總無(wú)功、總視在電能脈沖輸出、秒脈沖等可選。三相電流、有功功率、無(wú)功功率、視在功率實(shí)時(shí)需量及大需量(包含時(shí)間戳)。電流、線(xiàn)電壓、相電壓、有功功率、無(wú)功功率、視在功率、功率因數、頻率、電流總諧波、電壓總諧波的本月極值和上月極值(包含時(shí)間戳)。中文顯示,有功電能0.2s級。

預付費

DDSY

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

單相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。有功電能計量(正、反向),A、B、C分相正向有功電能,支持4個(gè)時(shí)區、2個(gè)時(shí)段表、14個(gè)日時(shí)段、4個(gè)費率大需量及發(fā)生時(shí)間,實(shí)時(shí)需量,歷史凍結數據購電記錄;8位段式LCD顯示、背光顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無(wú)功電能0.5s級。

DTSY

三相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。有功電能計量(正、反向),A、B、C分相正向有功電能,支持4個(gè)時(shí)區、2個(gè)時(shí)段表、14個(gè)日時(shí)段、4個(gè)費率大需量及發(fā)生時(shí)間,實(shí)時(shí)需量,歷史凍結數據購電記錄;8位段式LCD顯示、背光顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無(wú)功電能0.5s級。

智能抄表

ADL200

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

單相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量??傠娔苡嬃浚ǚ聪蛴嬋胝颍?,3個(gè)月歷史電能數據凍結存儲;8位段式LCD顯示;有功電能脈沖輸出;有功電能精度1級,無(wú)功電能2級。

ADL400

三相電參量U、I、P、Q、S、PF、F測量。(正、反向)有功、無(wú)功電能計量;A、B、C分相正向有功電能計量;2-31次諧波電壓電流;12位段式LCD顯示、背光顯示,電能精度0.5s級。

ADW210

4路三相電壓、電流、功率、功率因數、頻率測量;電壓電流相角、電壓電流不平衡度測量;電壓電流2-31次分次諧波及總畸變測量;當月及上三月的電壓、電流、功率極值記錄;大需量及上十二月歷史需量記錄;事件記錄、復費率、四象限電能及歷史電能記錄;支持12路開(kāi)關(guān)量輸入4路開(kāi)關(guān)量輸出;支持12路測溫4路剩余電流測量;有功電能精度1級。

ADW300

三相電壓、電流、功率、功率因數、頻率測量;電壓電流相角、電壓電流不平衡度測量;電壓電流2-31次分次諧波及總畸變測量;當月及上三月的電壓、電流、功率極值記錄;大需量及上十二月歷史需量記錄;事件記錄、復費率、四象限電能及歷史電能記錄;支持4路開(kāi)關(guān)量輸入、2路開(kāi)關(guān)量輸出;支持4路測溫;支持1路剩余電流測量;支持本地顯示及按鍵設置;有功電能精度1級。

通訊方式:支持RS485通訊、Lora無(wú)線(xiàn)通訊、4G通訊;WIFI通訊

直流電能表

DJSF1352

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

1.精度:1級或0.5級,帶±12V電壓輸出用于霍爾傳感器供電

2.測量:電壓、電流、功率、正反向電能,支持雙路計量。

電氣安全

ARCM300-Z

三相(I、U、Kw、Kvar、Kwh、Kvarh、Hz、cosΦ),視在電能、四象限電能計量,單回路剩余電流監測,4路溫度監測,2路繼電器輸出,2

路開(kāi)關(guān)量輸入,支持斷電報警上傳

AAFD-DU

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

監測故障電弧、漏電、溫度

兩路無(wú)源干接點(diǎn)(開(kāi)關(guān)量)輸入

兩路無(wú)源常開(kāi)觸點(diǎn)(開(kāi)關(guān)量)輸出

充電樁

ACX系列

淺談半導體工廠(chǎng)能耗分析及環(huán)境對能耗的影響

充滿(mǎn)自停、斷電記憶、短路保護、過(guò)載保護、空載保護、故障回路識別、遠程升級、功率識別、獨立計量、告警上報。

支持投幣、刷卡,掃碼、免費充電,

AEV_AC007

額定功率7kW,單相三線(xiàn)制,防護等級IP65,具備防雷保護、過(guò)載保護、短路保護、漏電保護、智能監測、智能計量、遠程升級,支持刷卡、掃碼、即插即用。

通訊方式:4G、藍牙、Wifi

智慧照明

ASL200

遙控輸出

兩路無(wú)源干接點(diǎn)(開(kāi)關(guān)量)輸入

兩路無(wú)源常開(kāi)觸點(diǎn)(開(kāi)關(guān)量)輸出






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